通過放電等離子設備產生高能電子、羥基、臭氧及氧原子，高能電子轟擊污染分子,同時自由氧、羥基、自由基氧化污染物分子。

適用范圍：適用范圍廣，凈化效率高

優點：電子能量高，幾乎可以和所有的惡臭氣體分子作用；運行費用低；反應快，設備啟動、停止十分迅速，隨用隨開。

缺點：一次性投資較高。